熱質量流量控制器的基本知識

還在為了各種氣體準備不同的流量控制器嗎?製造設備使用不同氣體時還要送回原廠調整流量隔板嗎?千變萬化的製程設計造成原先購買的流量計無法使用嗎?單一設備使用多種氣體時，又不想每種氣體都備庫，該怎麼辦?看過來，看各大蒸/濺鍍廠商實際使用azbil氣體質量流量控制器後為設備帶來的各種價值!

使用「SP斜坡控制功能」可每秒設定更新指定流量，讓設備用最有效率又不揚塵的方式進行氮氣開機控制作業。

0.3S的高速應答，透過PID進行微調整;要求耐環境性的現場，也可以安心使用;透過USB供電，就可以透過筆電設定參數;分離顯示器盤面設計的自由度提高

azbil 質量流量控制器(MFC) 只要搭配AC電源插座， 即可於螢幕操作，輕鬆設定SP參數。

本節介紹「熱流量計」在一般工業應用中的應用和優點。

這是熱式感測器中的最新方法。 通過極小化測量元件，可減少熱容量以獲得出色的靈敏度。 可以半導體製造設備進行低成本且大量的生產。 由於會直接接觸氣體，因此通常無法測量腐蝕性氣體。 根據感測器的安裝方法和測量方法，有以下四種方法。

即使通稱為「流量計」，流量的測量原理也可分為很多種，每種都有其優缺點。要選擇哪種流量計可說是非常困難，因為這取決於測量目的、測量目標、環境、成本和其他條件。希望本章節能有助於所有考慮使用流量計的人。