在晶圓薄化製程中，因應不同厚度晶圓，白努利吸盤需調整氣流參數，卻常因流量切換需手動微調、程式編程複雜，導致操作不便、效率低落。本文針對流量切換控制的困難與預算有限的現實，提出低成本、易於執行的方案，預設多組流量參數，協助設備業者以有限資源提升自動化程度，減少操作負擔，提升生產效率。

氫燃料電池，是一種將氫氣與氧氣反應，產生電能並排放水，實現零碳排放的潔淨發電。
燃料電池（Fuel cell）是一種主要利用氧或其他氧化劑進行氧化還原反應，把燃料中的化學能轉換成電能的發電裝置。最常見的燃料為氫 [1]，其他燃料來自於任何能分解出氫氣的碳氫化合物，例如天然氣、醇、和甲烷等。燃料電池有別於原電池，優點在於透過穩定供應氧和燃料來源，即可持續不間斷的提供穩定電力，直至燃料耗盡，不像一般非充電電池一樣用完就丟棄，也不像充電電池一樣，用完須繼續充電，也因此透過電堆串連後，甚至成為發電量百萬瓦(MW)級的發電廠。

Azbil阿自倍爾質量流量計型號CMS協助您改善廠內耗能, 實現氣體可視化! 適用於台灣工廠常見的多種氣體，並能透過參數切換設定，單一規格就可量測多種氣體，將製程消耗的氣體可視化管理，協助廠區完成製程碳排數據化，另具有低壓損設計，適用於低壓氣體流量控制，質量流量不受環境溫度變化的影響，不需加裝溫度及壓力計。

希望能在短時間內穩定燃燒加熱爐/電阻加熱爐之氣體滲碳爐的CP值，並穩定滲碳品質。只要使用Azbil型號 F4Q數位氣體質量流量控制器，就能改善富碳氣體的流量控制性，能穩定CP值，並有助於穩定滲碳品質。

沿用設備舊有架構，以為浮子式流量計便宜，有裝就好

但是使用者對於製程的要求已經大幅提升

氣體流量的成本控管，是否滿足製程精度條件的可視化

浮子式流量計是無法達到目的的……

1.精度為±1%SP，在寬廣的流量量程區間都滿足精度±1%SP。
2.0.3秒的反應時間，讓火力大小變更時，火焰能瞬間達到穩定。

液體流量大小與液氣混合物的狀態關係。
溶劑流量的大小及有無會影響到產品的良率

流量變更時, 程式改機無所適從?
燃燒系統最怕火焰熄滅，點火順序重新來過，耽誤製程需要?Azbil質量流量控制器幫您提升效率,免於調機地獄

設備空間不夠，又想掌握流量數據，交給氣體質量流量計