流量切換控制，程式編程設計無所適從？
渴望設備訂單接二連三，卻苦於客製化預算不足？
渴望設備訂單接二連三，卻苦於客製化預算不足？
客戶困擾
關於晶圓薄化製程，設備使用白努利吸盤做非接觸吸附，防止晶圓表面損傷等問題，但不同厚度晶圓做吸附時，需要程式參數調整或是手動微調流量，操作非常不便。
課題
針對不同厚度晶圓(約100~300um)吸附移載時，需要程式參數調整或是手動微調流量，設定操作不便。
提案商品～質量流量控制器 型號：F4Q
優勢：多段配方切換，精準對應製程需求。
質量流量控制器 型號：F4Q 產品介紹
具備 SP編號組 (SP-0 ~ SP-7) 配方切換功能
能靈活對應不同工件或晶圓厚度，進行精確的流量控制。
操作便利
使用者可透過面板輕鬆設定與切換不同流量組合，搭配 SP組模式 簡易編程，讓流程設定更加快速直覺，顯著降低工時與作業成本。
質量流量控制器 型號：F4Q 特色
一眼瞬間，訊息全掌握
直覺設定流量，反應快速，搭配面板顯示等，省下編程工時
各種流量領域也能達到0.3秒的高速反應穩定控制
晶片式構造，0.3s高速反應，在環境壓力變化下，流量也能保持穩定。
穩定的流量輸出有助於減少晶圓破片與翹曲，提升製程一致性與產品良率
是高精度半導體或光電產線的理想選擇。
是高精度半導體或光電產線的理想選擇。
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