產業應用說明

您是否正面臨氣體流量不穩導致產品質量下滑的困擾？F4Q 數位流量控制器 專為解決咖啡烘焙、工業焊接及實驗研究等領域的精確度難題而生，協助您將個人「經驗」轉化為標準化「數據」。

還在用肉眼確認鋼瓶壓力？質量流量控制器型號 F4Q透過 EV2 機能實現「氣體填充自動化」。告別手動測量的不便與安全隱憂，一次設定即可自動歸零、計量並阻斷閥門，大幅提升灌裝效率與精準度。

在半導體製造領域，無論是蝕刻、成膜或檢測等設備中，在裝載/卸載晶圓時高度精確的晶圓中心定位，都是確保製程穩定與良率提升的重要環節。
高精度邊緣位置感測器 型號K1G專為提升晶圓 Notch 偏心量測精度而生，以突破性的 0.1μm解析度和極致微型設計，為您的先進設備提供最佳解決方案 。

在半導體製程（如CMP、FOUP清洗）中，氣體流量控制的高精度與高穩定性，直接決定製程良率與設備可靠性。然而，傳統浮子式流量計不僅精度有限，且異常發生時難以及時追蹤原因，導致停機與維護時間大幅增加。
Azbil高精度 X 寬範圍氣體質量流量控制解決方案，為您帶來穩定製程、省力管理，一機輕鬆搞定！

隨著老師傅相繼退休，浮子式流量計的氣體流量調整經驗難以傳承，且該流量計容易受溫度變化影響，導致讀值不穩定。面對特殊氣體價格昂貴及客戶對氣體消耗量的精準計算需求，以及多種氣體需配備多種型號流量計而造成成本和庫存負擔，企業亟需尋求更有效率、穩定且易管理的氣體流量測量與控制方案。

在晶圓薄化製程中，因應不同厚度晶圓，白努利吸盤需調整氣流參數，卻常因流量切換需手動微調、程式編程複雜，導致操作不便、效率低落。本文針對流量切換控制的困難與預算有限的現實，提出低成本、易於執行的方案，預設多組流量參數，協助設備業者以有限資源提升自動化程度，減少操作負擔，提升生產效率。