
晶圓存儲盒(Foup)內氮氣充填流量控制提案
流量開啟時的調整控制,揚起 Foup 內的粉塵汙染困擾?總是等設備異常發生時,緊急查找異常原因後才能進行交換復歸?流量控制的參數或流量,須經由上位控制器進行監測撰寫程式才能設定?用上位機器控制氮氣流量計開機時的流量漸開,但是要花很多心力寫程式非常不容易?
流量開啟時的調整控制,揚起 Foup 內的粉塵汙染困擾?總是等設備異常發生時,緊急查找異常原因後才能進行交換復歸?流量控制的參數或流量,須經由上位控制器進行監測撰寫程式才能設定?用上位機器控制氮氣流量計開機時的流量漸開,但是要花很多心力寫程式非常不容易?
高速反應X低壓力損失X高精度X多種功能解決流量控制的問題。0.3S的高速應答,透過PID進行微調整;要求耐環境性的現場,也可以安心使用;透過USB供電,就可以透過筆電設定參數;分離顯示器盤面設計的自由度提高。利用azbil獨自開發的量測晶片技術,感測部即可馬上量測到該氣體帶走的熱質,進而演算出流量。
本節介紹 熱流量計 在一般工業應用中的應用和優點。工業氣體流量管理和費用分配。燃氣能源管理,透過測量質量流量,來掌握正確的能源使用量。燃燒器的空氣比管理。醫院內的氣體使用量管理,控制使用的氧氣和氮氣等醫療氣體的成本,並發現洩漏。背光和鹵素燈等玻璃加工燃燒器之空燃比控制。
這是熱式感測器中的最新方法。
通過極小化測量元件,可減少熱容量以獲得出色的靈敏度。
可以半導體製造設備進行低成本且大量的生產。
由於會直接接觸氣體,因此通常無法測量腐蝕性氣體。
根據感測器的安裝方法和測量方法,有以下四種方法。
即使通稱為「流量計」,流量的測量原理也可分為很多種,每種都有其優缺點。要選擇哪種流量計可說是非常困難,因為這取決於測量目的、測量目標、環境、成本和其他條件。希望本章節能有助於所有考慮使用流量計的人。
流量開啟時的調整控制,揚起 Foup 內的粉塵汙染困擾?總是等設備異常發生時,緊急查找異常原因後才能進行交換復歸?流量控制的參數或流量,須經由上位控制器進行監測撰寫程式才能設定?用上位機器控制氮氣流量計開機時的流量漸開,但是要花很多心力寫程式非常不容易?
高速反應X低壓力損失X高精度X多種功能解決流量控制的問題。0.3S的高速應答,透過PID進行微調整;要求耐環境性的現場,也可以安心使用;透過USB供電,就可以透過筆電設定參數;分離顯示器盤面設計的自由度提高。利用azbil獨自開發的量測晶片技術,感測部即可馬上量測到該氣體帶走的熱質,進而演算出流量。
本節介紹 熱流量計 在一般工業應用中的應用和優點。工業氣體流量管理和費用分配。燃氣能源管理,透過測量質量流量,來掌握正確的能源使用量。燃燒器的空氣比管理。醫院內的氣體使用量管理,控制使用的氧氣和氮氣等醫療氣體的成本,並發現洩漏。背光和鹵素燈等玻璃加工燃燒器之空燃比控制。
這是熱式感測器中的最新方法。
通過極小化測量元件,可減少熱容量以獲得出色的靈敏度。
可以半導體製造設備進行低成本且大量的生產。
由於會直接接觸氣體,因此通常無法測量腐蝕性氣體。
根據感測器的安裝方法和測量方法,有以下四種方法。
即使通稱為「流量計」,流量的測量原理也可分為很多種,每種都有其優缺點。要選擇哪種流量計可說是非常困難,因為這取決於測量目的、測量目標、環境、成本和其他條件。希望本章節能有助於所有考慮使用流量計的人。