設備空間不夠，又想掌握流量數據，交給氣體質量流量計

一直無法有效解決的流量控制課題，使用azbil 質量流量控制器將為您帶來什麼樣的變化？ F4Q數位質量流量控制器是氣體流量控制器(MFC , mass flow controller) 的極致。azbil 會引導您解決和流量控制有關之問題或困擾。

還在為了各種氣體準備不同的流量控制器嗎？製造設備使用不同氣體時還要送回原廠調整流量隔板嗎？千變萬化的製程設計造成原先購買的流量計無法使用嗎？單一設備使用多種氣體時，又不想每種氣體都備庫，該怎麼辦？看過來，看各大蒸/濺鍍廠商實際使用azbil氣體質量流量控制器後為設備帶來的各種價值！

流量開啟時的調整控制，揚起 Foup 內的粉塵汙染困擾？總是等設備異常發生時，緊急查找異常原因後才能進行交換復歸？流量控制的參數或流量，須經由上位控制器進行監測撰寫程式才能設定？用上位機器控制氮氣流量計開機時的流量漸開，但是要花很多心力寫程式非常不容易？

高速反應X低壓力損失X高精度X多種功能解決流量控制的問題。0.3S的高速應答，透過PID進行微調整;要求耐環境性的現場，也可以安心使用;透過USB供電，就可以透過筆電設定參數;分離顯示器盤面設計的自由度提高。利用azbil獨自開發的量測晶片技術，感測部即可馬上量測到該氣體帶走的熱質，進而演算出流量。

azbil 質量流量控制器(MFC)只要搭配AC電源插座，即可於螢幕操作，輕鬆設定SP參數。

本節介紹 熱流量計 在一般工業應用中的應用和優點。工業氣體流量管理和費用分配。燃氣能源管理，透過測量質量流量，來掌握正確的能源使用量。燃燒器的空氣比管理。醫院內的氣體使用量管理，控制使用的氧氣和氮氣等醫療氣體的成本，並發現洩漏。背光和鹵素燈等玻璃加工燃燒器之空燃比控制。

這是熱式感測器中的最新方法。
通過極小化測量元件，可減少熱容量以獲得出色的靈敏度。
可以半導體製造設備進行低成本且大量的生產。
由於會直接接觸氣體，因此通常無法測量腐蝕性氣體。

根據感測器的安裝方法和測量方法，有以下四種方法。

即使通稱為「流量計」，流量的測量原理也可分為很多種，每種都有其優缺點。要選擇哪種流量計可說是非常困難，因為這取決於測量目的、測量目標、環境、成本和其他條件。希望本章節能有助於所有考慮使用流量計的人。