流量變更時，程式改機無法對應？
現場增加產能KPI的壓力下，燒嘴燃料控制不易，導致火焰不穩/熄滅，好煩惱?
現場增加產能KPI的壓力下，燒嘴燃料控制不易，導致火焰不穩/熄滅，好煩惱?
型號:F4H質量流量控制器
體積小巧，搭配專用軟體設定，省下程式工時，晶片式構造，0.3s高速反應，在環境壓力變化下，流量也能保持穩定！
常見課題 1
針對腔體FOUP為防止製程過程中粉塵上揚，起始要求緩和的輸送氣體量，需調整成SP斜率流量，因要改寫工業電腦程式，對於既有設備來說非常麻煩。
azbil的提案
型號:F4H/F4Q氣體質量流量控制器，具有SP斜率流量控制，使用軟體設定可做不同斜率變化，省下程式工時與成本。
常見課題 2
對於廢氣處理設備使用傳統MFC，燃料氣體須以低壓供給時，需配合待處理氣體種類和量來改變燃燒量，由於傳統MFC壓損大，無法控制低壓供給燃料氣體，且低流量範圍反應性慢，降低燃料量會使火焰不穩定，另有火焰熄滅風險。
azbil的提案
(1) Azbil型號:F4H/F4Q氣體質量流量控制器
使用直線流路構造，故能控制低壓壓力損失小，且全量程高速反應，在弱火時也能維持火焰穩定！
(2) 透過SP斜率功能可設定流量變化率，在流量變更時控制燃料比例，以降低火焰熄滅風險。
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