"小型數位質量流量控制器"
- 獨家專利抗干擾設計
- 薄型設計體積小，輕鬆因應工業4.0
- 具備0.3秒達到穩定的高速控制、1%SP的高精度
- 支援Modbus通訊交握
- 主要用途 : 真空成膜、電子零件燒成、分析裝置
高速＆高精確度
為因應新一代的細微化技術，需高速且高精確度的氣體流量控制。
這台F4H能同時實現0.3秒的高速控制及1%SP的高精確度控制。
實現高速控制及高精確度控制的秘密：
將本公司開發的高感度流速感測器「微流量感測器（Micro Flow Sensor）」與PID控制技術加以融合，而得以實現。
微流量感測器直接與氣體直接進行測量，因此能立即掌握流量變動。
將阿自倍爾長年培養累積的PID控制技術與其融合，藉此實現高速且高精確度的控制。
GOOD DESIGN
本產品榮獲2017年度優良設計獎（GOOD DESIGN AWARD）；
審查委員給予「符合製造現場的節能化、省空間化及IoT化」的好評；
「並非一味追求小型化，而是透過介面在上流路在下的集中配置，讓並列多台使用時的設置性、作業性也獲得妥善規劃。測量值的輸出使用數位通訊機能，而非類比訊號，並且讓內部保有閥驅動電流監視器及自我診斷發出的警報等資訊，除了製造現場節能化、省空間化的設計以外，IoT化等著重於未來趨勢的設計也獲得好評。」
顧客心聲
某濺鍍裝置製造商的好評
一直想加快反應性濺鍍的成膜率以提高生產性。
導入高速控制的F4H後，不僅如預期般順利提升生產性，其高精確度控制也提升了品質。
某半導體裝置製造商的好評
為因應客戶提出裝置小型化的要求，每個機器都必須小型化。
本公司的裝置導入許多質流控制器，因此小型化是必須的。
F4H本身除了設計小型化，透過與NX-SVG的組合，還能削減PLC的類比輸出入模組。
兼具了「裝置小型化」及「降低成本」的優勢。
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