在半導體製程（如CMP、FOUP清洗）中，氣體流量控制的高精度與高穩定性，直接決定製程良率與設備可靠性。
然而，傳統浮子式流量計不僅精度有限，且異常發生時難以及時追蹤原因，導致停機與維護時間大幅增加。 渴望設備訂單接二連三，卻苦於客製化預算不足？
然而，傳統浮子式流量計不僅精度有限，且異常發生時難以及時追蹤原因，導致停機與維護時間大幅增加。 渴望設備訂單接二連三，卻苦於客製化預算不足？
客戶常見課題
流量精度不足，影響製程良率
在 CMP 製程中，氣體流量波動會直接影響拋光結果；
於 FOUP清洗過程，流量不穩則可能導致乾燥不完全，增加顆粒殘留風險。
異常原因難以追蹤
設備異常時，傳統流量計無法即時顯示異常狀態或紀錄相關數據，導致停機排查與故障分析時間過長。
日常點檢耗時，管理效率低
缺乏即時數位顯示與事件紀錄，設備人員需額外使用外部儀器或人工比對數據，造成例行檢查與維護作業耗時費力。
須仰賴上位機控制器進行程式撰寫，才能完成設定與監控，增加工程開發與日後維護的複雜度與人力成本。
Azbil提案商品~氣體質量流量計 型號 CMS□□□□
結合微型感熱式流速傳感器與獨家整流結構，專為半導體製程痛點打造，帶來三大核心優勢:
高精度量測，製程更穩定
- ±3%RD 高精度，全面滿足先進製程對氣體供應的嚴格要求。
- 寬廣量測範圍，靈活適配各種製程條件與氣體流量需求。
即時監控，異常快速定位
- 高辨識度 LED 顯示，瞬時/累計流量一目了然。
- 事件輸出與累積脈衝輸出，助力迅速判斷異常原因，縮短停機排查時間。
簡易整合，降低系統成本
- 選配 RS-485 通訊與多種模擬輸出，直接連接 PLC 或電腦系統。
- 不需撰寫複雜程式即可設定與監測，大幅減少開發與維護工時。
功能特色
測量方式:
微小感熱式流速傳感器 + 整流結構 → 減少湍流影響。精度：
±3%RD，重複性佳。顯示：
LED 即時顯示瞬時與累計流量，單位可切換。輸出
模擬輸出（電壓/電流）RS-485 通訊
事件輸出（2 點，其中 1 點可做為累計脈衝輸出）
微小感熱式流速傳感器的構造:
- 微小感熱式流速傳感器使用矽微加工技術、薄膜技術製作而成，具有邊長僅1.7mm、厚度0.5mm的超細微結構，是本公司特有的感熱式流速傳感器。
- 測量原理:在無流量狀態下，以加熱器為中心的溫度分布式左右對稱的，而在有流量的狀態下，加熱器上游測溫度下降，下游測溫度上升，溫度分布的對稱性被破壞。上述溫度差已溫度傳感器(白金薄膜)阻值的差形式表現出來，從而可以計算出質量流量(流速X密度)
產業應用
CMP製程
製程中使用的氣體供應（乾燥環境維持），確保拋光品質一致。
Foup清洗
穩定乾燥空氣輸送，確保風乾效果一致，避免靜電與顆粒污染。
設備維護
LED 顯示與事件輸出協助快速判斷異常，大幅縮短停機時間。
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快來與我們聯繫，為您打造專屬的解決方案。
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