提升IC封裝良率的關鍵:精確溫控的力量

在半導體產業中,IC封裝過程對最終產品的品質和可靠性至關重要。
良好的封裝工藝不僅提高了產品的性能,還降低了重工和報廢率。
實現這些目標的關鍵之一就是精確的溫度控制。
然而,隨著工藝日益複雜,除了製程設備溫度控制要求外,
製程中環境溫濕度的不穩定會增加製程的變異性,從而影響產品的一致性和良率。
因此,穩定的環境條件有助於保持封裝過程的一致性,從而提高良率。

在半導體IC封裝過程中,溫度控制對封裝的質量和性能有著至關重要的影響。
以下為常見在製程環境及設備相關對IC封裝良率的影響:

製程設備溫度控制

熱膨脹匹配:

半導體IC和封裝材料之間的熱膨脹系數匹配對於長期的可靠性至關重要。溫度變化會引起材料的熱膨脹和收縮,如果IC和封裝材料之間的膨脹匹配不好,可能會導致應力集中,從而引發裂縫或其他結構性損壞。

應力和變形:

溫度控制不當會導致封裝過程中的應力不均勻。這些應力可能會影響IC的性能,甚至導致封裝失效。例如,在高溫環境下,封裝材料可能會變軟或變形,從而影響IC的幾何形狀和電氣特性。

可靠性測試:

溫度控制還影響到封裝的可靠性測試,如熱循環測試(Thermal Cycling Test)和高溫高濕測試(High-Temperature High-HumidityTest)。這些測試模擬了IC在實際使用中的極端條件,以評估封裝的耐久性。特別是在先進製程封裝或車用IC等領域, 溫度控制精度要求: ±0.1℃ ~ ±0.01℃


製程環境溫度控制

提升製程穩定性:

在半導體封裝過程中,溫度的穩定性有助於確保製程的一致性,避免因溫度變化而導致的工藝變異。這對於確保每個IC的一致性能和可靠性至關重要。溫度控制精度要求: ±0.1℃ ~ ±0.01℃

降低particle:

在半導體封裝過程中,溫度的穩定性有助於確保製程的一致性,避免因溫度變化而導致的工藝變異。這對於確保每個IC的一致性能和可靠性至關重要。溫度控制精度要求: ±0.1℃ ~ ±0.01℃


課題

以往傳統的溫度控制器因顯示位數限制,通常僅能顯示到小數點後1位。然而,隨著半導體製程的進步,對製程環境及設備溫度的要求越來越高。



Azbil的提案商品~型號:C1A 數位顯示控制器

優勢:提供了更精確、更穩定的溫度控制解決方案,滿足高要求的製程需求。
取樣時間僅為25毫秒,精度高達±0.1%,且可顯示至小數點後兩位。


型號:C1A 數位顯示控制器 特色

實現4.5位數顯示

顯示精度±0.1%RD±1digit(熱電偶、測溫阻抗體),可顯示至小數點後二位

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備有停電回溯功能,在復電後可以根據停電前的模式編號、區段編號、剩餘循環次數、區段已執行時間進行動作。
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