微小流量計的種類
為滿足日益增長的市場需求，各種微流量計已經面世，本文介紹五種最常用的微小液體流量測量方法
建議在選擇最合適的微小流量計前，先瞭解這些方法的測量原理和優缺點。
容積式
容積式流量計由計量室和齒輪組成。
齒輪安裝在計量室中，齒輪設計為旋轉式。
接著，注滿流體至計量室和齒輪間的間隙（槽），
隨著齒輪的旋轉，「槽 」被反覆注入和排出液體。
因該計量室的體積固定，利用測得齒輪轉動次數即可得到流體通過流量計的體積。
優點
- 不易受流速分佈的影響，無需直線流路。
缺點
- 管道內的微型旋轉機構部分使流體與異物嚙合。在某些情況下，流量計會損壞。
差壓式
在管道（流量計的流道）上安裝一個節流閥，
利用節流閥前後的壓力差測量流量，壓力差會根據流量而變化。
在紊流中，流速與差壓的平方根成正比。
在層流中，流速與壓力差成正比 。
優點
- 通常是比較便宜的。
缺點
- 孔徑容易堵塞。
- 測量範圍（最大測量流量與最小測量流量之比變窄）
- 產生較大的壓力損失
超音波式
一對超音波元件（發射器/接收器）
安裝在管道（流動路徑）外，沿流體流動的正反方向交替發射超音波，利用超音波到達對側元件所需的時間差來確定流速。
根據超音波到達對面元件所需的時間差來確定流速。
優點
- 壓力損失小。
- 安裝夾緊系統時無需改動管道。
缺點
- 如果流體中有氣泡，超音波就會被吸收，如果有固體，超音波就會被反射和擴散，從而導致較大的測量誤差。
- 由於微流量範圍內的管道直徑較小，因此難以測量。
- 需要比較長的直管部
科氏力式
組成流路的 U 形管以恒定的頻率擺動，當流體流經U形管時，會產生與其質量流量成正比的科氏力。
透過讀取科氏力的變化來測量流體的質量流量。
優點
- 測量流體的品質流量，因此不受流體黏度或密度影響。
- 精度高、應答速度快。
缺點
- 壓力損失大。
- 流量計價格昂貴。
- 容易受振動影響。
熱式
熱測量方法的原理是，當熱物體與流體接觸時，流體會從熱物體帶走熱量，此時損失的熱量與流速相關。
其原理因被測流體的類型（氣體或液體、流量大小、流體是否具有腐蝕性等）而異，但主要方法是溫差測量和消耗電力測量。
優點
- 壓力損失小。
- 不易受液體中異物和氣泡的影響。
缺點
- 易受污垢影響。
- 流體容易受溫度變化影響。
- 需要根據流體類型進行校正。
阿自倍爾的熱式微小液體流量計
型號 F7M- 可對50mL/min以下的微液體進行穩定測量，精度高達±5％RD
- 内部流路為直流路設計、壓力損失小，具備優秀洗浄性。
- 構造採用※1不易受異物和氣泡影響的測量原理。
- 感測器不接觸液體，可測量多種液體※2。
過去熱式微小流量計缺點
- 易髒。
- 容易受流體溫度變化影響。
- 需要根據流體類型進行校正。
可以放心使用阿自倍爾 型號 F7M
- 由於只使用高抗性的石英玻璃和氟樹脂接觸液體，因此不會導致流體污染或變質，對腐蝕性流體和污垢具有很強的抵抗力。
- 流體溫度以該溫度為基準進行校正，因此不易受流體溫度變化的影響。
- 一鍵就能進行流量校正。※3
※1 是與體積型流量計和超聲波流量計等相比的特點，當狀態變化程度較大時，可能會發生測量誤差。
※2 前提是要用不腐蝕石英玻璃和氟樹脂的流體進行測量。
※3 根據液體種類的不同，可能會出現較大的誤差。
阿自倍爾的熱式微小液體流量計原理
阿自倍爾熱式微小液體流量計 型號 F7M、內部流路採用高耐腐蝕性石英玻璃，外圍配置熱式MEMS感測器（檢測元件與液體無接觸）
- 流體溫度由液體溫度感測器測量，並控制在恒溫狀態，使加熱器表面溫度略高於流體溫度。
- 加熱器的散熱量（加熱器損失的熱量）取決於流速。（流速越高，加熱器的散熱量越大，流速越低，散熱量越小）。
- 加熱器的散熱量可以用消耗電量來衡量，因此消耗電量可以轉換成流量值。 加熱器的表面積極小，加熱器不與流體直接接觸，因此散熱量可以忽略不計，也不會加熱流體。
本資料簡要介紹微小流量測量的趨勢和微小流量計的性能要求，以及每種方法的結構和優缺點。
熱式微小流量計與最近的微小流量測量需求高度相容，被認為是目前最好的選擇之一。
當然，其他測量方法也有其優點，有些產品已經消除了其缺點，因此請根據測量目的和流體條件選擇合適的微小流量計。
同場加映：本公司熱式微小液體流量計－概要篇及應用篇 影片
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