晶圓存儲盒(Foup)內氮氣充填流量控制提案

『為減輕工程師工作負擔作貢獻!』
「寶貴的時間值得花在更重要的事上。」
N2氮氣

現狀:

1. 流量開啟時的調整控制,揚起Foup內的粉塵汙染困擾。

2. 總是等設備異常發生時,緊急查找異常原因後才能進行交換復歸。

3. 流量控制的參數或流量,須經由上位控制器進行監測撰寫程式才能設定。

課題:

1. 用上位機器控制氮氣流量計開機時的流量漸開,但是要花很多心力寫程式非常不容易
2. 想快速找到異常原因,但流量計無法顯示流量,和警報事件原因,異常原因無法釐清
3. 上位機器的程式除錯等原因,導致流量計的參數或流量無法調整

課題解決方法:

1. 工欲善其事必先利其器! 氣體質量流量控制器就能輕鬆調整開機時的緩開啟動。

型號:F4Q、F4H、MQV系列應對秘密武器:「SP斜坡控制功能」 使用「SP斜坡控制功能」可每秒設定更新指定流量,讓設備用最有效率又不揚塵的方式進行氮氣開機控制作業。

斜坡控制功能

2. 神隊友! 根據自我診斷進行流量控制器的異常判別與顯示。

即便現場有各種不同意想不到的問題需要處理,交給azbil流量計!
讓您螢幕/通訊一把罩,各種錯誤無所遁形。

3. 山不轉路轉,不求人!流量計單體即可輕鬆操作參數設定,無須仰賴上位機器操作。

流量計本體顯示部支援簡明設定鍵。利用產品操作軟體介面,還可將參數存檔管理。
調機試車時還可即時監看流量變化曲線進行確認。

免費申請流量計測試,立即體驗前所未有的精準便利!


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