提升半導體先進封裝 CoWoS 濕式製程的精準控制與量測

什麼是 CoWoS？
隨著半導體技術不斷向更高效能、更緊湊的方向發展，
CoWoS（Chip-on-Wafer-on-Substrate）技術已成為高端封裝領域中的關鍵技術之一。

濕製程中的挑戰與控制技術

化學品溫度控制：避免波動，保障穩定性

在CoWoS的濕製程中，溫度是影響化學反應和製程結果的關鍵因素之一。化學品的溫度波動可能會導致不穩定的反應，進而影響製程質量。為了保持溫度的精準控制，Azbil的PID控制技術能夠動態調整加熱與冷卻設備，精確維持在最佳反應範圍內，避免過度波動或溫控誤差，確保每個步驟的穩定性與一致性。

藥液洩漏監控：即時偵測與反應

在半導體濕式製程中，化學品洩漏是一個潛在的安全隱患，尤其在處理強酸或強鹼等化學物質時，洩漏可能對設備與操作人員造成極大威脅。Azbil的漏液感測器可以在洩漏初期即時發出警報，無論是在tank、管路還是其他接觸區域，都能精確偵測並提供即時反饋。這樣的即時反應能夠有效防止液體洩漏對設備造成損害，確保製程安全與高效。


Azbil濕製程用相關提案產品

型號:YYQZ 溫度感測器

產品特色

測溫電阻元件本身已鐡氟龍樹脂成型加工,大幅減少因結露造成的元件故障。備有測溫範圍為0~200°C(FEP)與0~250°C(PFA) 2種類型，另提供保護長度客制服務。

產品型號/規格

型號:C1M 溫度控制器

產品特色

添加了獨家的PID調整、50ms的取樣週期和±0.2% FS 的輸入精度、PID模擬和PLC連接功能、輕鬆實現高性能控制可輕鬆實現高性能控制。

產品型號/規格


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