『小型數位質量流量控制器』
- 獨家專利抗干擾設計
- 薄型設計體積小,輕鬆因應工業4.0
- 具備0.3秒達到穩定的高速控制、1%SP的高精度
- 支援Modbus通訊交握
- 主要用途 : 真空成膜、電子零件燒成、分析裝置
高速&高精確度
為因應新一代的細微化技術,需高速且高精確度的氣體流量控制。
這台F4H能同時實現0.3秒的高速控制及1%SP的高精確度控制。
實現高速控制及高精確度控制的秘密:
將本公司開發的高感度流速感測器「微流量感測器(Micro Flow Sensor)」與PID控制技術加以融合,而得以實現。
微流量感測器直接與氣體直接進行測量,因此能立即掌握流量變動。
將阿自倍爾長年培養累積的PID控制技術與其融合,藉此實現高速且高精確度的控制。
GOOD DESIGN
本產品榮獲2017年度優良設計獎(GOOD DESIGN AWARD);
審查委員給予「符合製造現場的節能化、省空間化及IoT化」的好評;
「並非一味追求小型化,而是透過介面在上流路在下的集中配置,讓並列多台使用時的設置性、作業性也獲得妥善規劃。測量值的輸出使用數位通訊機能,而非類比訊號,並且讓內部保有閥驅動電流監視器及自我診斷發出的警報等資訊,除了製造現場節能化、省空間化的設計以外,IoT化等著重於未來趨勢的設計也獲得好評。」
顧客心聲
某濺鍍裝置製造商的好評
一直想加快反應性濺鍍的成膜率以提高生產性。
導入高速控制的F4H後,不僅如預期般順利提升生產性,其高精確度控制也提升了品質。
導入高速控制的F4H後,不僅如預期般順利提升生產性,其高精確度控制也提升了品質。
某半導體裝置製造商的好評
為因應客戶提出裝置小型化的要求,每個機器都必須小型化。
本公司的裝置導入許多質流控制器,因此小型化是必須的。
F4H本身除了設計小型化,透過與NX-SVG的組合,還能削減PLC的類比輸出入模組。
兼具了「裝置小型化」及「降低成本」的優勢。
本公司的裝置導入許多質流控制器,因此小型化是必須的。
F4H本身除了設計小型化,透過與NX-SVG的組合,還能削減PLC的類比輸出入模組。
兼具了「裝置小型化」及「降低成本」的優勢。
本公司提供30天免費試用,歡迎洽詢
F4H是運用阿自倍爾獨家開發技術研發所實現的高速、高精確度質流控制器。
現在本公司提供30天免費試用,歡迎洽詢。