MEMS型流量感測器，這是熱式感測器中的最新方法。
通過極小化測量元件，可減少熱容量以獲得出色的靈敏度。
可以半導體製造設備進行低成本且大量的生產。
由於會直接接觸氣體，因此通常無法測量腐蝕性氣體。
根據感測器的安裝方法和測量方法，有以下四種方法。
第二章 流量感測器式流量計
2.1. 直接測量法
這種方法是將感測器安裝在管壁表面附近，並用網孔及蜂窩狀整流的上游側進行測量。儘管測量範圍大且容易實現高精密度，但成本較高。
通過極小化測量元件，可減少熱容量以獲得出色的靈敏度。
可以半導體製造設備進行低成本且大量的生產。
由於會直接接觸氣體，因此通常無法測量腐蝕性氣體。
2.2. 旁路測量法
如下圖所示，這種推測式測量法是在旁路部分安裝感測器。與毛細管類型的情況一樣，如果旁通比改變，則無法進行精確的測量，因此容易受到壓力變化和流量不均勻的影響。儘管難以實現高精密度，但具有易於降低成本的優點。
2.3. 多段流路法
開發該方法的目的是同時實現大測量範圍和高精密度。
通過在內部使用不同的流速進行測量並安裝具有不同測量流速的感測器，可實現更大的測量範圍（約 1000：1）。
適用於需要高精密度整合的天然氣貿易和燃料電池測試應用。
2.4. 卡曼渦旋檢測法
這是唯一非質量流量的體積流量測量方法。與此原理類似的有熱敏電阻式渦旋流量計。這種方法是將熱感測器作為卡曼渦旋檢測元件安裝，並通過檢測渦旋頻率來測量體積流量。傳統的渦旋型透過壓電元件檢測渦旋頻率，因此熱渦旋流量計具有較低的測量靈敏度，特別是在低流量的範圍內，且能實現廣範圍的測量。缺點是，有可能因氣態中包含的油霧等液體成分的附著，而導致測量靈敏度降低或無法進行測量。在不包含液體成分的氣體的情況下，該方法測量範圍大，且可以相對較低的成本進行測量。
2.5. 流量感測器式流量計的普及與今後的發展
此原理相對較新，許多世界各地的製造商都才剛開始導入並使其商業化。近年來活用半導體型感測器的特性，各製造商從追求低成本和大量供應的應用，到開始銷售相對少量的工業用途及高附加價值應用等多樣商品。以本公司為首的三大公司已進入市場，預計將在未來對氣體流量計的新需求增長中發揮作用。日後期待以低成本大量安裝之壓縮空氣節能流量測量、燃料電池效率計算或控制用感測器、以及工業節能之管理控制應用等以往無法輕易測量之領域為中心，取得進一步的發展。
網站使用條款